日本 KONSEI WHF-200AS 卡爪
2026-07-31 16:53:21
admin
日本 KONSEI WHF-200AS 卡爪
WHB钳型晶片卡爪
产品特点
可采用吸盘、边缘夹具、吊具等各种搬运装置。
可根据晶片的一次性搬运数量，设计并定制搬运装置。
规格参数
型号：WHF-200AS
搬运工件：晶圆
工件尺寸：φ200mm
搬运方式：边缘夹持
搬运枚数：1 枚
驱动方式 - 闭合方向：弹簧（夹持方式）
驱动方式 - 打开方向：真空压力 - 60kPa~95kPa（采用负压气缸）
动作行程：10mm（夹持 7mm 夹持余量 3mm）
把持力：1.9~2.4N
洁净度：FED 规格 Class1（需抽吸）
叉爪材质：CFRP
垫块、临时基座、垫片材质：PEEK
本体重量：1.2kg
可选配件：开闭确认传感器
