日本 ULVAC 爱发科 LR180 真空泵
2026-03-30 15:30:27
admin
日本 ULVAC 爱发科 LR180 真空泵
低温区均质化
除了PVD工艺外，它也非常适合制备和外带室的排气，尤其是在减少排气时间以提高通量的场合。
由于采用氦气密封罐
装发动机密封结构，其安全性极高。
在1000毫秒内实施瞬时停止措施。
优异的耐腐蚀性 主要部件采用了具有高表面硬度和优异耐腐蚀性的
特殊表面处理作为标准。 在排走腐蚀性气体时减少泵内腐蚀。
通信功能：可读取泵运行状态数据、警告/警报历史。 通过专用软件和计算机通信实现集中监控。
