日本 ULVAC 爱发科 MS120A 真空泵
2026-03-30 15:00:39
admin
日本 ULVAC 爱发科 MS120A 真空泵
通过对转子轴和汽缸等主要部件施加特殊表面处理，实现了高耐腐蚀性。
ULVAC独特的螺旋式转子轴设计实现了高粉末排放效率。
从大气压到达到压力的整个压力范围内，均可实现连续运行。
用于电子元件和半导体制造设备、
蚀刻设备、灰烬设备、等离子体清洗设备等的真空排气系统。
真空热处理炉
的真空排气系统、烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备、
电极干燥设备、消泡设备、液体注入设备等的真空排气系统。
用于医疗和食品相关设备的真空排气系统，冻
干设备、真空干燥设备等。
